Статья: Разработка систем плазменной обработки

В журнале ВАК Фотоника "Технологии и технологическое оборудование", том 16, №2, 2022 года вышла наша статья "Разработка систем плазменной обработки изделий микро и наноэлеткроники" Плазменная обработка активно применяется при изготовлении оптических компонентов в изделиях фотоники и микроэлектроники: очистки поверхности от загрязнений, уменьшения шероховатости поверхности, повышения поверхностной энергии и модификации поверхности. В статье представлена информация о линейке установок плазменной обработки MPC, разработанных компанией GN tech совместно со специалистами МГТУ им. Н. Э. Баумана. Акцент сделан на инновационную разработку – установку с сильноточным двуполярным импульсным генератором низкой частоты, который обеспечивает повышенную концентрацию низкоэнергетичных ионов и существенно меньшую температуру процесса для обработки перспективных изделий фотоники и микроэлектроники (полимерные линзы, волноводы), чувствительных к воздействию плазмы.  

Ссылка на сайт журнала: https://www.photonics.su/journal/article/9263 

Если Вас заинтересовала статья, напишите нам, мы с радостью поделимся полным текстом!