Керамические подложки на основе нитрида кремния (Si3N4)
-
Верхнее описание
Нитрид кремния [Si3N4] - керамика, особенности которой заключается в ее повышенных прочностных характеристиках и повышенной износостойкости, относительно других типов керамических материалов. Поэтому наилучшим образом применяется в структурах, где необходима высокая прочность изделия и его устойчивость к высоким перепадам температур.
Благодаря своим механическим показателям, изделия изготовленные с использованием нитрида кремния, отлично выдерживают условия длительного термоциклирования, ударам, испытания при усиленном трении, а также взаимодействие с агрессивными средами.
-
Таблица характеристик
Свойства
Материал
Si3N4
Цвет
Серый
Объемная плотность
г/см3
≥ 3,20
Шероховатость шлифованной поверхности (Ra)
мкм
—
Шероховатость полированной поверхности (Ra)
мкм
Ra 0,05
Механические характеристики
Прочность на изгиб
МПа
900
Прочность на сжатие
МПа
2500
Модуль упругости
ГПа
315
Твердость по Виккерсу
ГПа
Вязкость разрушения
7,5
Физические характеристики
Коэффициент теплового расширения (25-1000°C)
10 -6 /°C
3,1
Теплопроводность (25°C)
Вт/м∙°K
19
Удельная теплоемкость
Дж/кг*К
3,1
Сопротивление тепловому удару
С
800
Максимальная температура эксплуатации
С
1400
Диэлектрическая прочность
15
Объемное сопротивление (25 С)
≥ 1014
Диэлектрическая постоянная (1 МГц)
-
9,0 - 10,0
Диэлектрические потери (1МГц, 25°C)
∙10 -4
4
Технологические характеристики
DBC технология
-
Толстопленочная технология
-
Тонкопленочная технология
-
Нижнее описание
Создаваемые платы на основе керамики нитрида или карбида кремния находят свое применение в следующих областях:
-
в качестве изолятора;
-
изготовления запоминающих устройств;
-
производство интегральных схем;
-
более надежная и прочная альтернатива для оксида алюминия (Al2O3);
-
основание для изготовления плат высокомощной электроники;
- подложки для датчиков, электронных приборов, которые эксплуатируются в условиях воздействия агрессивных сред и т.д.
-